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供应砷化镓单晶炉(图)
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| 详细说明 |
| 1 HB 水平布里支曼 (1) 主要技术指标 ■ 结构型式：单管水平式，加热炉体可左右移动 ■ 适合2~4″晶体生长工艺（可定制）。 ■ 炉体有效加热长度：1600mm。 ■ 最高工作温度： 1300℃ ■ 恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃ ■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min ■ 降温（1300℃～ 900℃）： 0～5℃/ min ■ 供电电源：三相五线 380V±10% 50Hz 2 HGF 水平梯度冷凝 (1) 主要技术指标 ■ 结构型式：单管水平式，加热炉体不移动 ■ 适合2~4″晶体生长工艺（可定制）。 ■ 炉体有效加热长度：1600mm ■ 最高工作温度： 1300℃ ■ 恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃ ■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min ■ 降温（1300℃～900℃）： 0～5℃/ min ■ 供电电源：三相五线 380V±10% 50Hz 3 VGF 垂直梯度冷凝 (1) 主要技术指标 ■ 结构型式：立式，加热炉体不移动。 ■ 适合2~6″晶体生长工艺（可定制）。 ■ 炉体有效加热长度：700-1000mm ■ 最高工作温度： 1300℃ ■ 恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃ ■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min ■ 降温（1260℃～900℃）：0—— 5℃/ min ■ 供电电源：三相五线 380V±10% 50Hz |
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