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供应双工位脱氧炉(图)
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| 详细说明 |
| 砷化镓晶体生长工艺配套设备
(1) 主要技术指标
■ 常用工作温度：300～1000℃
■ 使用温度：0-1200℃
■ 控制精度：≤±1℃
■ 恒温区长度： 600mm
■ 升温功率：≤10KVA
■ 保温功率：≤5KVA
■ 开机重复性：≤±1℃
■ 冷态真空度：5×10-3Pa
■ 石英真空室内径：根据用户要求设计。
■ 环境温度：-10～45℃
■ 相对湿度：≤85%
■ 供电电源：三相五线 380V±10% 50Hz |
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