二氧化碳溶解器切割机专用电阻率调整装置(图)|迪思科科技上海有限公司|切割机 , 研削机, 抛光干式蚀刻机

发布时间:2010-1-27 14:05:45
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切割机专用电阻率调整装置 -Resistivity Management Unit-

二氧化碳溶解器可减少切割中产生的加工物带电现象，并能抑制微粒的粘附以及静电对半导体元件的不良影响。
为了降低纯水的电阻率，该装置通过将二氧化碳气体溶解于切削水中，从而将电阻率调整到设定值。

通过采用新开发的CO₂混合（多级混合调节）方式，可以不受切削水流量变化的影响，能维持稳定的电阻率。另外，在切割机操作显示屏上可进行电阻率的设定，各种加工参数的输入以及故障警报的集中控制等操作，并且还可将该装置安装在6000系列机型的主机内部，从而降低了设备的占地面积。

适用设备：切割机

	二氧化碳溶解器

电阻率的设定范围(MΩ・cm)	0.5 - 1.0
电阻率的变化幅度	设定电阻率目标值的±10％
特点	可随时监视切削水的电阻率，并按照设定的电阻率目标值，对其进行调整。另外，由于该装置具有自动记录切割机的全自动运转开始时/每次切割完成时/故障发生时的电阻率的功能，所以有助于对生产过程实施有效的管理。

切割机专用电阻率调整装置 -Resistivity Management Unit-