|
|
|
| 地址： |
上海张江高科技园区碧波路690号5号1楼
|
| 邮编： |
201203 |
| 传真： |
86 021 50278178 |
| 电话： |
86 021 50278018 |
| 联系人: |
销售科（女士） |
| 手机： |
|
|
|
 |
 |
点击次数:
|
| >>雷射切割机7000系列(图) |
发布时间:2010-1-27 13:04:19
产品规格:
产品数量:
包装说明:
价格说明:0
7000系列 - Fully Automatic Laser Saw - |
|
 |
|
|
|
| 7000系列，是能夠完成從搬運工件、位置校準、雷射切割(全切割、開槽加工、内部改質加工)到清洗、乾燥為止等一系列作業的全自動雷射切割機。因為配置了LCD觸摸式液晶顯示螢幕和GUI(圖形化用戶界面)，使操作變得更為便利。另外，還採用幾乎不發生熱變形的短脈衝雷射技術，從而能夠避免因過熱對電路面產生的不良影響。
| 燒蝕加工 |
|
|
 |
| 將雷射能量於極短的時間内集中在微小區域，使固體蒸發的加工方法 |
|
|
| 隱形切割 |
|
|
|
| 將雷射聚光於工件内部，在工件内部形成改質層，藉由擴展膠膜等方法將工件分割成晶粒的切割方法 |
| <適用於隱形試切割的技術> |
|
| |
| |
DFL7160
|
DFL7260
|
DAL7020
|
|
|
|
|
| 最大適用晶片直徑 |
適用於ø300mm晶圓、燒蝕加工的雷射切割機 |
適用於ø300mm晶圓、燒蝕加工的雙頭雷射切割機 |
適用於ø6"晶圓、燒蝕加工的雷射切割機 |
| 最大適用晶片直徑 |
ø300 mm |
ø6" |
| 最大適用框架 |
2-12 |
2-6-1 |
X軸
(工作台) |
可切割範圍(mm) |
310 |
160 |
| 最大進刀速度(mm/s) |
600 |
1,000 |
300 |
Y軸
(工作台) |
可切割範圍(mm) |
310 |
162 |
| 最小步進量(mm) |
0.0001 |
| Y軸定位精度 |
0.003以內/310
(單一誤差)0.002以內/5 |
0.003以內/160
(單一誤差)0.002以內/5 |
| 光學尺最小分辨率(mm) |
0.0001 |
0.00005 |
0.0001 |
| Z軸 |
雷射聚焦輸入範圍(mm) |
-2.000 - 5.000 |
-1.000 - 5.000 |
| 最小移動量(mm) |
0.00005 |
| 重復定位精度(mm) |
0.002 |
θ軸
(工作台) |
最大旋轉角度(deg) |
380
(初始位置開始正方向320、負方向60) |
380
(初始位置開始正方向245、負方向135) |
320
(初始位置開始正方向217.5、負方向102.5) |
雷射
產生器 |
產生器模式 |
利用半導體雷射激發的Q開關單體雷射 |
利用半導體雷射激發的Q開關單體雷射 x 2 |
利用半導體雷射激發的Q開關單體雷射 |
設備尺寸(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 1,500 x 1,800 |
2,800 x 1,220 x 1,800 |
600 x 1,600 x 1,500 (參考値) |
設備重量
(kg) |
1,750 (無變壓器)
1,870 (有變壓器) |
2,900 (包括UPS) |
1,200 (參考値) | |
| * |
DFL7260注
在設備外設置冷卻裝置。1,200 x 650 x 1,558mm(冷卻裝置尺寸) |
| * |
為了改進設備，本公司可能在沒有預先通知客戶的情況下，就對本規格實施變更，因此請仔細確認規格後，再發出訂單。 |
|
|
|
