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| 地址： |
上海张江高科技园区碧波路690号5号1楼
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| 邮编： |
201203 |
| 传真： |
86 021 50278178 |
| 电话： |
86 021 50278018 |
| 联系人: |
销售科（女士） |
| 手机： |
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点击次数:
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| >>激光切割机(图) |
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发布时间:2010-1-27 17:09:38
产品规格:
产品数量:
包装说明:
价格说明:0
7000系列 - Fully Automatic Laser Saw - |
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| 7000系列，是能够完成从搬运工件、位置校准、激光切割(全切割、开槽加工、内部改质加工)到清洗、干燥为止等一系列作业的全自动激光切割机。因为配置了LCD触摸式液晶显示屏和GUI(图形化用户界面)，使操作变得更为便利。另外，还采用几乎不发生热变形的短脉冲激光技术，从而能够避免因过热而对电路面产生的不良影响。
| 烧蚀加工 |
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| 将激光能量于极短的时间内集中在微小区域，使固体升华、蒸发的加工方法 |
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| 隐形切割 |
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| 将激光聚光于工件内部，在工件内部形成改质层，通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯片的切割方法 |
| <隐形切割的应用技术> |
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DFL7160
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DFL7260
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DAL7020
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| 设备概要 |
适用于φ300mm晶片、烧蚀加工的激光切割机 |
适用于φ300mm晶片、烧蚀加工的双头激光切割机 |
适用于φ6"晶片、烧蚀加工的激光切割机 |
| 最大适用晶片直径 |
φ300 mm |
φ6" |
| 最大适用框架 |
2-12 |
2-6-1 |
X轴
(工作盘) |
可切割范围(mm) |
310 |
160 |
| 最大进给速度(mm/s) |
600 |
1000 |
300 |
Y轴
(工作盘) |
可切割范围(mm) |
310 |
162 |
| 最小步进量(mm) |
0.0001 |
| Y轴定位精度 |
0.003以内/310
(单步误差)0.002以内/5 |
0.003以内/160
(单步误差)0.002以内/5 |
| 光尺分辨率(mm) |
0.0001 |
0.00005 |
0.0001 |
| Z轴 |
激光聚焦输入范围(mm) |
-2.000 - 5.000 |
-1.000 - 5.000 |
| 最小移动量(mm) |
0.00005 |
| 重复定位精度(mm) |
0.002 |
θ轴
(工作盘) |
最大旋转角度(deg) |
380
(初始位置开始正方向320、负方向60) |
380
(初始位置开始正方向245、负方向135) |
320
(初始位置开始正方向217.5、负方向102.5) |
| 激光发生器 |
发生器模式 |
通过半导体激光激发的Q开关单体激光 |
通过半导体激光激发的Q开关单体激光 x 2台 |
通过半导体激光激发的Q开关单体激光 |
设备尺寸(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 1,550 x 1,800 |
2,800 x 1,220 x 1,800 |
600 x 1,600 x 1,500 (参考值) |
设备重量
(kg) |
1,750 (无变压器)
1,870 (有变压器) |
2,900 (包括UPS) |
1,200 (参考值) | |
| * |
DFL7260注
在设备外设置冷却装置。1,200 x 650 x 1,558mm(冷却装置尺寸) |
| * |
为了改进设备，本公司可能在预先不通知客户的情况下，就对本规格实施变更，因此请仔细确认规格后，再发出订单。 |
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