供应程控扩散系统|北京七星华创电子股份有限公司|大规模集成电路制造设备, 混合集成电路, 电子元件

发布时间:2010-2-23 19:48:38
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产品详细描述:	1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。 2.采用进口智能控制器，可输出八个开关量，对炉温、阀门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑多条工艺曲线。 3.具有高抗干扰能力。 4.具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。 5.具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。产品选型详见订货须知。

主要指标:	可配工艺管外径：2~6英寸工作温度范围：400～1300℃ 恒温区长度及精度：760mm/±0.5℃ 单点温度稳定性：600～1250℃ ±0.5℃/24h 最大可控升温速度：15℃/min 最大降温速度：5℃/min